光泵浦Si衬底GaN基回音壁模式微盘谐振腔激光器
钟昌明; 邱运灵; 陈杰; 韩小标; 潘郑州; 黄溥曼; 梁捷智; 张佰君 中山大学电子与信息工程学院光电材料与技术国家重点实验室
摘要：氮化镓基微盘结构光学谐振腔具有波长选择范围宽、模式体积小和激射阈值低等特点,其在腔量子电动力学、低阈值激光器、生物传感器等方面具有重要的研究价值。通过优化制备微盘的干法刻蚀工艺及选择性湿法腐蚀技术,制备出侧壁陡峭且光滑的高Q值Si衬底GaN基回音壁模式微盘谐振腔,该微盘谐振腔的制备工艺简单、表面损伤小。在室温、266nm短波长激光泵浦条件下,微盘谐振腔激光器实现了激射,阈值为2.85MW/cm2,Q值达到2 161。
来源期刊：半导体光电
关键词：gan 微盘 干法刻蚀 回音壁模式 品质因子 光泵浦
来源期刊：半导体光电 2017年第05期
