集成电路碳纳米管互连建模与特性研究

唐旻; 吴林晟; 李晓春; 毛军发 上海交通大学高速电子系统设计与电磁兼容研究教育部重点实验室

摘要:近年来,基于碳基材料的纳米尺度互连方案得到了人们的广泛关注,为下一代集成电路的互连技术提供了一种全新的解决途径.基于国内外在碳纳米互连建模和特性研究方面的进展,并结合本课题组取得的相关成果,对集成电路碳纳米管互连的等效电路建模、时延特性以及热特性进行了系统的分析,并与传统铜互连进行了全面比较.最后对具有实用前景的碳纳米异质互连技术进行了简要介绍和展望.

来源期刊:上海交通大学学报
关键词:碳纳米管  石墨烯纳米带  集成电路  互连线  过孔结构  
来源期刊:上海交通大学学报 2018年第10期

期刊名称:上海交通大学学报

期刊级别:北大期刊

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