基于双金属膜的光纤MEMS温度传感器的设计
姚虹春; 叶荣波; 彭波; 葛益娴 中国电力科学研究院; 南京信息工程大学电子与信息工程学院
摘要：提出了一种新型结构的温度传感器,该传感器基于Fabry-Perot干涉和双金属效应。采用MEMS技术制作出线性度好、精度高的光纤MEMS温度传感器。阐述了传感器的工作原理,研究了传感器的力学模型,确定了温度敏感膜材料,用有限元软件ANSYS验证了模型的合理性。模拟了法珀腔的腔长对温度传感器性能的影响,为传感器的加工制作提供了理论依据。该设计可为以硅为基底的压力传感器提供一种温度补偿方法。
来源期刊：半导体光电
关键词：光纤传感器 台面膜 双金属膜
来源期刊：半导体光电 2017年第05期
